English
Máy đo quang học Metrios
Phạm vi đo: 95×65 mm / 23×23 mm.
Gồm 2 dòng : METRIOS, METRIOS HD.
METRIOS: Độ phân giải cao dành cho các phôi đo vừa và nhỏ.
METRIOS HD: Độ phân giải cao nhất trong phạm vi. Chụp từng chi tiết nhỏ nhất trên các phôi đo siêu nhỏ.
Máy đo quang học Metrios
Phạm vi đo: 265×200 mm / 70×70 mm.
Gồm 2 dòng: Metrios cross, Metrios HD cross.
Metrios cross: Bệ đo trượt dọc theo trục X và Y, vùng đo rộng rãi và máy ảnh có độ phân giải cao bao phủ toàn bộ trường nhìn.
Metrios HD cross: Nền tảng đo lường có độ phân giải cao nhất trong cùng một hành trình đo, trượt dọc theo trục X và trục Y.